潔凈室/無塵室基礎(chǔ)知識(shí)與管理
潔凈室（亦稱無塵室）：空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)：GB50073-2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范。
各種條件下微塵狀況
塵埃粒子直徑的示意圖：
灰塵又是如何產(chǎn)生的呢？
一般事務(wù)室里拍攝的例子
熒光燈全部消失的場合：
走路時(shí)候發(fā)塵樣子對比
左邊是穿一般的工作服走路時(shí)候發(fā)塵的樣子。右邊是穿潔凈服走路時(shí)候發(fā)塵的樣子。
拍擊工作服時(shí)產(chǎn)生的塵埃粒子對比
左邊是拍擊一般的工作服時(shí)發(fā)塵的樣子。右邊是拍擊潔凈服時(shí)發(fā)塵的樣子。
潔凈室內(nèi)的事例
作業(yè)人員通過后，塵埃附著在玻璃上的樣子。
浮游粒子
使用 ParticleEyeDCF 統(tǒng)計(jì)浮游粒子數(shù)量。
紙張的發(fā)塵對比
左邊是普通紙，右邊是無塵紙。
膠帶和手套的發(fā)塵例子
左邊是紙芯膠帶的發(fā)塵的樣子，右邊是PVC手套的發(fā)塵。
電動(dòng)工具的發(fā)塵例子
左邊是電鉆發(fā)塵的樣子。右邊是真空泵發(fā)塵的樣子。
吸塵器排氣的例子
吸塵器各地方排氣泄漏的樣子。
打噴嚏時(shí)從嘴里泄漏飛沫的樣子：
打噴嚏時(shí)瞬間發(fā)生的飛沫。
發(fā)汗現(xiàn)象：從胳膊發(fā)汗條件創(chuàng)造。
吸煙的例子：香煙煙霧的粒子。
運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的塵埃粒子數(shù)量
灰塵是如何去除的呢？
潔凈室的空氣凈化：
手持簡易型激光粒子計(jì)數(shù)器
測量空氣中微粒的數(shù)量：
限于體量和重量，手持式激光粒子計(jì)數(shù)器采樣流量一般為每分鐘0.1立方英尺（0.1cfm），即每分鐘2.83升（2.83L/m），其最小粒徑通道一般為0.3μm。通常均可采用電池或交流電工作。
這類產(chǎn)品粒徑通道又可分為雙通道型，如美國Met One公司生產(chǎn)的HHPC-2型，有0.3和0.5μm及0.5和5μm兩種標(biāo)準(zhǔn)配置。
由于這類產(chǎn)品采樣空氣量小，測量精度相對較低，但隨檢測人員移動(dòng)靈便，適用于各種潔凈室的監(jiān)測，判定過濾設(shè)備的效率和密封性。這類產(chǎn)品可存儲(chǔ)一定量的采樣數(shù)據(jù)，備有下載軟件，均不帶打印裝置。
高效過濾器
高效過濾器檢漏：
卸下HEPA的散流板，對整個(gè)濾器面、濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進(jìn)行掃描。掃描時(shí)采樣頭距濾器面約1英寸（約2.54cm），掃描速度不超過5cm/s。掃描按直線來回往復(fù)地進(jìn)行，線條間應(yīng)重疊。檢測過程中，若有報(bào)警聲 （即%LEAKAGE（泄漏率）超過0.01%），表明有泄漏。泄漏處經(jīng)用硅膠堵漏或緊固以后再進(jìn)行掃描巡檢。檢查一個(gè)過濾器約為5min 左右，在測試的過程中，應(yīng)經(jīng)常確認(rèn)上游氣溶膠的濃度，注意在檢測過程中應(yīng)帶防護(hù)面罩和防護(hù)眼罩。
風(fēng)量罩
測量送風(fēng)風(fēng)速：
風(fēng)量罩主要由三個(gè)部分構(gòu)成：風(fēng)量罩體、基座、PDA構(gòu)成。
風(fēng)量罩體主要用于采集風(fēng)量，將風(fēng)匯集至基礎(chǔ)上的風(fēng)速均勻器上。在風(fēng)速均勻器上裝有熱式傳感器，熱式傳感器將風(fēng)速的變化，再根據(jù)基底的尺寸將風(fēng)量計(jì)算出來.風(fēng)量罩的顯示采用PDA，大屏幕液晶屏顯示直觀,直接可以得到風(fēng)速和風(fēng)量的數(shù)據(jù)。操作簡單，可以設(shè)置記錄時(shí)間間隔進(jìn)行連續(xù)的參數(shù)記錄，以便對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。測量和記錄的數(shù)據(jù)被記錄在存儲(chǔ)卡上，不會(huì)丟失，可以通過計(jì)算機(jī)的串口將數(shù)據(jù)傳遞到PC機(jī)上以及做進(jìn)一步的應(yīng)用。
風(fēng)罩的測量技術(shù)要求：
壓差測定儀表
壓差檢測：普通潔凈室不同級別逐級之間、潔凈室與非潔凈區(qū)之間的微壓差一般為5～10Pa，某些生物潔凈室為防止有害物或病毒向外擴(kuò)散，其進(jìn)入通路的各個(gè)房間之間的負(fù)壓差需要維持-10～-30Pa。
根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)GB19489-2008“實(shí)驗(yàn)室、生物安全通用要求”的規(guī)定：相對于大氣壓污染區(qū)為-40Pa，根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)GB50346-2011“生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范”的規(guī)定：與室外方向上相鄰相通房間的最小負(fù)壓差為-10Pa。
在各級空氣過濾器處，應(yīng)配置微壓差計(jì)并與過濾器前后的靜壓引出管相連，以便隨時(shí)監(jiān)測氣流通過空氣過濾器的壓力降。有些微壓差計(jì)還備有可調(diào)節(jié)壓差設(shè)定的報(bào)警標(biāo)定值，以便超過規(guī)定壓差時(shí)輸出報(bào)警信號。
溫濕度計(jì)
測量溫濕度：電子溫濕度計(jì)因其方便、可靠、便于距離測量等優(yōu)點(diǎn)，在潔凈室檢測、監(jiān)測中廣泛使用。常見的有電容式和電阻式傳感器，輔以相應(yīng)電學(xué)儀器，即可測定空氣的相對濕度。
電阻式濕度傳感器常見的有氧化鎳金屬氧化物燒結(jié)而成的多孔狀陶瓷體，或高氯酸鋰—聚氯乙烯等高分子材料制成。
它們都是利用了在不同濕空氣中，由于吸濕量變化而引起的電阻值變化原理制成的濕度傳感器。
氧化鎳陶瓷濕度傳感器因其使用壽命長，工作穩(wěn)定性好，使用較普遍。
電容式傳感器：電容式濕度傳感器基本上是一個(gè)電容器，在高分子薄膜上的電極是很薄的金屬微孔蒸發(fā)膜，水分子可以通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放，隨著水分子的吸附與釋放，高分子薄膜的介電系數(shù)將發(fā)生相應(yīng)變化。因?yàn)榻殡娤禂?shù)隨空氣中的相對濕度變化而變化，因此，只要測定其電容值即可得到被測空氣的相對濕度。
照明：淚滴型照明燈具，嵌入式照明燈具。
照度計(jì)
照度測試：照度測試宜采用便攜式數(shù)字照度計(jì)。
潔凈室（區(qū)）照度的檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定和光源光輸出穩(wěn)定的狀態(tài)后進(jìn)行；對新熒光燈區(qū)應(yīng)使用100h以上，并在點(diǎn)燃15min后進(jìn)行測試。
照度測試點(diǎn)應(yīng)選擇在工作面高度進(jìn)行，一般宜為0.85m，通道測試高度宜為0.2m；測試點(diǎn)數(shù)量可按每50㎡潔凈室（區(qū)）面積一個(gè)點(diǎn)計(jì)算，但每個(gè)房間不得少于1點(diǎn)。
靜電檢測儀
測量靜電：該類測試儀表不直接與帶電體接觸，而是運(yùn)用靜電感應(yīng)的原理，間接測試帶電體的靜電電位。由于這種測試不是直接同帶電體相接觸，因此也稱非接觸式測量。
靜電感應(yīng)原理：是將測試探頭靠近帶電體，利用探頭與被測帶電體之間產(chǎn)生的畸變電場測試帶電體的表面電位。
靜電控制
ESD控制= Man(人)+ Machine (機(jī)) + Material (料)+ Method(法)+ Environment(環(huán))。
風(fēng)淋室（Airshower）
風(fēng)淋室設(shè)于無塵室入口處，具有以下功能：
人員管制；AIR LOCK 氣鎖功能，防止交叉污染；
風(fēng)速20-25m/s吹落塵埃帶走功能，用以吹除人體衣服上及設(shè)備、物料、工具的塵埃。
注：正確使用風(fēng)淋室，能夠減少帶入室內(nèi)的灰塵。正確聽從風(fēng)淋室播音員的指示進(jìn)行操作，夠去除95%的1μ以上的灰塵。
傳遞箱 (PASS BOX)
置于潔凈室隔間墻上之裝置功能：
做為潔凈室內(nèi)外物品傳遞之緩沖區(qū)，其可防止于傳遞物品時(shí)由于門的開啟而破壞了潔凈室氣流與室壓；
可減少作業(yè)人員走動(dòng)的時(shí)間而防止外區(qū)塵埃的進(jìn)入；
進(jìn)出口具有不可同時(shí)開啟的聯(lián)鎖控制，以達(dá)到防止交叉污染。
潔凈室及潔凈區(qū)潔凈度等級
潔凈室的管理四大原則：
不將灰塵帶入
不讓灰塵產(chǎn)生
正確穿著潔凈服：
正確使用風(fēng)淋室之進(jìn)入潔凈室
使用風(fēng)淋室注意事項(xiàng)
正確使用風(fēng)淋室之走出潔凈室流程
潔凈室禁止攜帶物品舉例
潔凈室禁止帶入易發(fā)塵物品、數(shù)碼產(chǎn)品、食品、個(gè)人物品、不使用物品、未清潔物品及工具等。
潔凈室專用物品舉例
潔凈室必須使用專用物品：
不讓灰塵堆積-潔凈室 (Clean Room)的清掃
以Ａ?Ｂ?Ｃ?Ｄ?Ｅ的順序、從上往下進(jìn)行清掃。
清掃區(qū)域要點(diǎn)圖：
A ：樓承板及天花板上梁清掃：
用無塵布清理灰塵；
用純水無塵布清掃房梁、吊頂螺栓 手夠不到的地方用拖把用純水擦拭一次以上。
要點(diǎn)：將裝有純水的水桶帶到天花板內(nèi)、用無塵布沾濕后絞干擦洗，在梁上不要?dú)埩粝潞圹E。
B：樓承板及天花板上設(shè)備機(jī)器清掃
保護(hù)膜全部撕掉、用無塵布清理掉積塵；
用純水無塵布清掃配管、管路、線纜橋架等手夠不到的地方用拖把用純水至少擦拭一次以上。
要點(diǎn) 將裝有純水的水桶帶到天花板內(nèi)、用無塵布沾濕后絞干擦洗：在配管等上面不要?dú)埩粝潞圹E。
C：樓承板及天花板清掃
收拾垃圾、用拖把拖?樓承板及天花板上用純水擦拭將裝有純水的水桶帶到天花板內(nèi)、用無塵布沾濕后絞干擦洗：在天花板上面不要?dú)埩粝潞圹E。
D：樓承板及天花板下設(shè)備機(jī)器清掃
保護(hù)膜全部去除、有電氣機(jī)器接觸的部分用干無塵布擦拭其他配管、管路、橋架等用純水擦拭清掃。暖通南社制作。
E：地板清掃
操作順序是先撕掉保護(hù)膜?收拾垃圾?用清掃機(jī)收拾垃圾、用無塵拖把清潔?用純水擦拭來進(jìn)行地板清掃(強(qiáng)力的污漬用噴霧劑對應(yīng))?干燥。
柱子?閥門用水擦拭、墻壁的鋁蜂巢板用擦拭的方法進(jìn)行清潔。生產(chǎn)盤由設(shè)置的業(yè)者負(fù)責(zé)任的進(jìn)行干擦拭清掃(柱子的話事前能夠清掃的地方進(jìn)行清掃。
注意：務(wù)必將作業(yè)區(qū)域跟清掃區(qū)域區(qū)分開來。
清掃事例
①從上往下清潔；
②從里往外清潔；
③朝一個(gè)方向清潔。
潔凈室清潔工具及清潔產(chǎn)品
潔凈室必須使用專用清潔工具及清潔產(chǎn)品：
迅速排出灰塵
潔凈室內(nèi)的注意事項(xiàng)
1.潔凈室內(nèi)禁止跑動(dòng)，走路時(shí)禁止拖防靜電鞋。
2.禁止閑聊、吵鬧，大聲叫人。
3.個(gè)人用品(手機(jī),手表等)及食物禁止搬入潔凈室內(nèi)。
4.搬入資材及易耗品等生產(chǎn)物品時(shí)必須通過風(fēng)淋合格箱進(jìn)行洗潔作業(yè)后再搬入。
5.化妝或涂指甲油的人禁止出入。
6.防靜電帽，防靜電服外露出頭發(fā)，眼眉，一般服裝不正確時(shí)立即到更衣室(Smock Room)點(diǎn)檢著裝之后再次通過風(fēng)淋室(Air Shower)后入室。
7.防靜電手套及手指套被破損或受污染時(shí)立即更換新的使用。
8.作業(yè)時(shí)Clean Room帽(防靜電帽)，防靜電服及防靜電鞋破損或受污染時(shí)通知組長交換新的使用。
9.開始作業(yè)時(shí)、終了時(shí)，休息時(shí)間過后要用滾筒架清掃作業(yè)臺(tái)及周邊。
10.作業(yè)臺(tái)上禁止放置不必要的什器。
11.禁止坐著轉(zhuǎn)動(dòng)椅子或向后擺動(dòng)。
12.禁止靠在裝備、墻，作業(yè)臺(tái)等。
13.禁止坐在地板上。
14.禁止用手套觸摸皮膚。
15.交換器及電源等電裝置要注意觸電。
16.完成作業(yè)之后整理，整頓作業(yè)臺(tái)、尺工具及周圍后退室。
某光電廠房潔凈室管理
潔凈室進(jìn)退流程：
人員訓(xùn)練與資格考核
凡需進(jìn)入無塵室工作人員，無論本公司或公司外部人士，除外賓外(客戶、VIP等)。
任何人員皆需經(jīng)潔凈室訓(xùn)練或資格考核及格，方可進(jìn)出無塵室。
人員需經(jīng)資格考核及格后，無塵室管制室方可發(fā)放無塵衣。
外部人員進(jìn)入無塵室之申請
外部人員進(jìn)入無塵室，由相關(guān)單位代為提出「無塵室申請單」。
施工廠商可由警衛(wèi)室申請「臨時(shí)工作證」或由相關(guān)單位代為申請「長期工作證」。
進(jìn)入更衣室與洗塵之管制
管制室應(yīng)做到監(jiān)控人、事、物之進(jìn)出需合乎規(guī)定。
不可化妝，包含口紅、粉底、指甲油、眼影、香水。
個(gè)人應(yīng)保持良好衛(wèi)生習(xí)慣，每日洗澡、刮胡子和定期洗頭，經(jīng)常洗手保持手部甲清潔。
不可攜帶私人物品，如香煙、打火機(jī)、食物飲料、化妝品、手鐲、耳環(huán)、戒指。
除無塵室專用文具外，嚴(yán)禁攜入鉛筆、自來水筆、橡皮擦、蠟筆與一般紙張等。
棉質(zhì)、紙盒、木材等易產(chǎn)生粉塵材料的物品禁止攜入無塵室 。
吸煙30分鐘后方可進(jìn)入無塵室。
施工廠商需有專人陪同方可進(jìn)入無塵室。
更衣步驟：
安全衛(wèi)生之管制
無塵室內(nèi)發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)環(huán)境異狀(不明之聲音、煙蒂、溶劑及味道)應(yīng)迅速反應(yīng)至組長或相關(guān)人員、主管。
毒氣外露警報(bào)聲響時(shí)，應(yīng)迅速呼叫同仁由安全門撤離，并應(yīng)迅速反應(yīng)至組長或相關(guān)人員、主管。
嚴(yán)禁切、削、鉆等工程，如有必要需先做防塵措施與施工區(qū)域隔離措施。
如遇緊急狀況，依工安單位規(guī)定之逃生路線，以最快速度離開無塵室。
緊急逃生時(shí)可不脫去無塵衣物 。
緊急狀況消除后，靜候通知進(jìn)入無塵室，并更換干凈之無塵衣物。
紀(jì)律管理
Class10,000區(qū)人員至Class100,000區(qū)作業(yè)后，若需重回Class10,000區(qū)者需經(jīng)AIR SHOWER吹送后方可重回Class10,000區(qū)；而穿著Class100,000區(qū)無塵衣人員絕對禁止至Class10,000區(qū)。
不得坐于地板上，并嚴(yán)禁僅貼機(jī)臺(tái)、墻壁、工作桌。
面對Cassette或機(jī)臺(tái)時(shí)禁止講話、較大之肢體動(dòng)作，并嚴(yán)禁快速走動(dòng)或追逐(警急警報(bào)響時(shí)除外)，保持慢速走動(dòng) 。
除新人訓(xùn)練、公事交接外，應(yīng)避免兩人以上交談。
Cassette或Tray不可置于地面，除Cassette待清洗區(qū)外。
禁止勾肩搭背、觸摸其它人員或兩人同坐一張無塵椅 。
無塵室內(nèi)絕對禁止拍照錄像，如有必要需經(jīng)廠長同意 。
除非具合格之人員，否則嚴(yán)禁操作任何機(jī)臺(tái)。
物品、器具、化學(xué)品之管制
應(yīng)避免亂流產(chǎn)生與在機(jī)臺(tái)區(qū)氣流之上方等處放置物品或執(zhí)行其它作業(yè) 。
化學(xué)藥品應(yīng)置于化學(xué)柜內(nèi)。
化學(xué)藥品應(yīng)有明確之中英文標(biāo)示。
使用過無塵布、無塵紙一律置于垃圾桶內(nèi)。
無塵室門之管制
隨手關(guān)門，無塵室之信道門應(yīng)隨時(shí)保持緊閉。
禁止用推車頂門。
門有損壞時(shí)應(yīng)立刻通知處理。
電線、插座、蛇管之管制
機(jī)臺(tái)之管線應(yīng)用束線帶束緊，固定于墻角或不妨礙通行之角落。
不使用膠帶固定電線于地上或墻上。
使用插座時(shí)應(yīng)確定所使用工具之電壓與插座電壓是否相同。
無論任何電線均不可用腳踩踏。
文件資料之管制
O/I需置于指定位置，不可任意放置，使用后需立即歸回原位 。
O/I內(nèi)容不可徑自書寫、涂改或做其它記號 。
攜入無塵室之影印資料，需放入透明文夾內(nèi)，打印資料應(yīng)用噴墨打印機(jī)打印。
雙孔或三孔打孔機(jī)禁止放置在生產(chǎn)區(qū)使用。
標(biāo)示標(biāo)語之管制
不得任意撰寫標(biāo)語張貼。
張貼標(biāo)示時(shí)應(yīng)依規(guī)定格式，并經(jīng)制造主管同意。
消火箱滅火器之管制。
滅火器附近走道應(yīng)保持暢通。
滅火器位置應(yīng)按規(guī)定放置并有清楚之標(biāo)示牌。
離開無塵室之管制
除緊急逃生外必須由Gowing Room路徑離開。
人員進(jìn)入更衣室后，脫去手套、口罩、網(wǎng)帽，并依規(guī)定垃圾桶丟棄。
脫無塵鞋，將無塵鞋置于自己鞋柜中。
脫無塵衣，將無塵衣置于自己衣架上(先脫上半身再脫下半身)。
無塵衣掛上衣架后確實(shí)將拉煉拉至領(lǐng)口，以防無塵衣滑落。
小型器具物品可隨人員辦登記后攜出無塵室。
大型器具物品需有兩組人員內(nèi)外接應(yīng)，人員則按離開無塵室手續(xù)離開。
設(shè)備保養(yǎng)之管制
執(zhí)行保養(yǎng)前應(yīng)要求機(jī)臺(tái)LOAD/UNLOAD凈空。
所有零件器具不可置于地上，大型器具對象應(yīng)以塑料布墊妥再置于地上。
無塵衣物清洗與更新之管制
各區(qū)無塵衣物清洗每周一次。
原則上避免施工人員自備無塵衣物，統(tǒng)一由公司提供。
無塵衣物管理單位應(yīng)將發(fā)放給予公司同仁之無塵衣物加以編號管理。
無塵衣磨/破損嚴(yán)重或修補(bǔ)超過三次應(yīng)予以丟棄。
稽核改善與獎(jiǎng)懲
品保單位應(yīng)定期檢測無塵室環(huán)境狀況并依追蹤改善情形。
制造單位或相關(guān)單位應(yīng)全力配合品保單位之稽核行動(dòng)，不可刁難或拒絕配合。
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